HMDS真空烘箱预处理性能更好，高低温湿热试验箱由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理，所以不会有尘埃的干扰，再者，由于该系统是将“去水烘烤“和HMDS处理放在同一道工艺，同一个容器中进行，晶片在容器里先经过100℃-160℃的去水烘烤，再接着进行HMDS处理，不需要从容器里传出，而接触到大气，晶片吸收水分子的机会大大降低，所以有着更好的处理效果。

　　统都在工作。高低温湿热试验箱本系统采用在腔内分布两块独立的热板来实现加热，每个热板都采用人工智

　　能PID调节仪实现闭环控制，调节仪控制固态继电器的输出从而实现温度的

　　烘箱真空模块由机械泵、真空组件、真空测量等组成，主要作用是置换气体和抽走剩余的

　　烘箱充氮模块作用是在置换过程中，用氮气来逐渐稀释空气或药液蒸汽，高低温湿热试验箱从而zui终替换空气

　　烘箱控制模块控制模块是本系统的核心模块，它的作用是控制各个模块的动作和时序，完

　　。人机界面采用100mm松下触摸屏来实现参数、状态等界面的显示和参数的设
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