三安光电碳化硅全产业链产线封顶 ，国内首条碳化硅芯片量产生产线预计年中可全面投产

　　长沙晚报1月21日讯(全媒体记者 朱泽寰 周斌 通讯员 褚兴科 王丽)“在完成混凝土浇灌后，预计半小时左右，项目就全面封顶了。双85试验箱”19日，中建五局三项目技术负责人陆建臻指着房楼顶西南角一块数十平方米的空地告诉记者。陆建臻口中的“项目”，是湖南三安半导体项目的单体M2B芯片房，这也是国内首条碳化硅全产业链生产线。

　　记者了解到，这栋M2B芯片房占地面积23206平方米，建筑面积52326平方米，于2020年7月开工建设。

　　房内将设置两条并行的碳化硅研发、生产全产业链产线，用以生产高质量、低成本、高稳定性碳化硅衬底及各类器件。“这是国内首条碳化硅芯片量产生产线。”三安光电相关负责人介绍，“碳化硅是电压转化芯片理想的制作材料之一，成品芯片可广泛应用于新能源汽车充电桩、高功率电机和航空航天等领域。”

　　走进房内，记者看到数万个篮球大小的通风孔规整地“镶嵌”在楼层与楼层的隔板中。陆建臻介绍说：“为保证无尘清洁室大面积生产车间的洁净度，我们需要做好华夫板(利用楼板内孔洞形成回风通道的楼板)高精度施工，建立洁净空调通风系统形成回风通道。为此，项目在实施过程中每一步都会进行严格的技术复核、技术控制。”

　　由于该项目建成后将服务于技术密集型半导体产业，因而对空气洁净度提出了较高的要求。中建五局三通过在车间内设置新风系统，朝室内不断输送清洁空气，双85试验箱保持室内的正压，再通过广泛铺设的通风孔向外排气，保证车间洁净度。

　　记者了解到，空气的洁净标准一般按照十级、百级、千级、万级、高低温湿热试验箱十万级……划分，数值越小，净化级别越高。普通公共场所可参照三十万级标准，医院ICU病房参照十万级标准，而中建五局三承建的湖南三安半导体项目中M2B碳化硅芯片房为百级标准，在当天封顶的三安光电项目的7座单体房中，衬底、外延房将达到“千级”洁净度，芯片房更是能达到“百级”洁净度的要求，堪比洁净等级手术室的标准。“即每立方英尺的空气中≥0.5微米粒径的粒子数量不超过100个，” 陆建臻表示，“空气洁净度远超医院ICU病房的‘十万’级标准。”

　　“随着项目封顶，下一步将进行洁净装修与工艺设的安装与调试，预计年中将实现全面投产。”三安光电相关负责人表示，“项目全部建成后预计可实现年产值120亿元以上，预计带动上下游配套产业产值超千亿元。”

　　三安光电项目的建设者们，逢山开路、遇水搭桥，双85试验箱以敢闯敢“创”的坚毅果敢，顺利使项目如期封顶。

　　作为第三代化合物半导体的“材料”，碳化硅在业内也被称为“金刚沙”，其在功率器件上的性能无与伦比，特别是运用在新能源汽车、高铁的IGBT模块与白色家电的IPM模块中，可直接降低40%左右的功耗。

　　凭借本项目完整的碳化硅产业链布局和强大的制造平台，三安光电亦将快速发展成为具有自主知识产权、掌握核心技术与行业话语权、具有重要国际影响的碳化硅材料与器件产业生产基地。同时由于半导体产业链中，高低温湿热试验箱上游产业对于中、高低温湿热试验箱下游产业的放大效应，项目的进一步推进，也必将推动湖南、长沙先进半导体产业的壮大。
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